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儀器中文名稱: 臺(tái)階儀
儀器型號(hào)規(guī)格: Alpha-Step IQ
生產(chǎn)廠商: KLA－TENCOR Corporation
國(guó)別: 美國(guó)
購(gòu)置日期(年): 2005-5-1
使用日期(年): 2005-11-1
主要技術(shù)指標(biāo): 掃描長(zhǎng)度：10mm （2）掃描速度：2μm/s～200μm/s （3）臺(tái)階高度可重復(fù)性： 0.8nm的典型標(biāo)準(zhǔn)偏差或0.1%的測(cè)量垂直范圍（對(duì)20μm范圍）； 0.4μm的典型標(biāo)準(zhǔn)偏差或0.2%的測(cè)量垂直范圍（對(duì)400μm范圍）。 （4） 可測(cè)樣品最大尺寸：Φ158mm （5） 可測(cè)樣品最大厚度：21mm 可測(cè)樣品最大重量：1kg
主要附件及功能:
本單位該儀器主要應(yīng)用領(lǐng)域：材料, 機(jī)械工程
檢測(cè)項(xiàng)目： 可測(cè)量各種材料（如磁盤(pán)、半導(dǎo)體晶片、精密加工和拋光面、微電子陶瓷、平面顯示器玻璃、光學(xué)平面等）表面的臺(tái)階高度。 臺(tái)階必須事先做好。臺(tái)階作的越陡峭越好，最好是用光刻的方法作出，否則測(cè)試的準(zhǔn)確性會(huì)大大變差。樣品要求：平面尺寸 Φ10mm ～ Φ158mm；厚度 ＜20mm；臺(tái)階高度 ＜0.4mm。校內(nèi)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)
收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)： 520元/小時(shí)